Die PVD-Beschichtungsanlagen von Vacotec dienen der reaktiven Beschichtung von Substraten mit metallbasierten, elektrisch leitfähigen Schichten im Vakuum.
Für die Erzeugung der dafür erforderlichen Metallionen und -atome wird das Lichtbogenverdampfungsverfahren, auch Arc-Verfahren genannt, eingesetzt.

Nach der Zündung brennt zwischen Anode und Target ein Lichtbogen, der auf dem Target in mikroskopisch kleinen Fußpunkten das Targetmaterial verdampft und ionisiert. Diese so erzeugten Ionen und Atome kondensieren auf den Substraten.
Auf dem Weg zum Substrat können die Teilchen mit den gleichfalls ionisierten Bestandteilen der Reaktivgase chemische Verbindungen eingehen.

Auf diese Weise entsteht die gewünschte Schicht. Über die an den elektrisch leitfähigen Substraten anliegende Spannung können die Ionenenergie und damit die wesentlichen Schichteigenschaften beeinflusst werden.