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Vacotec wurde nach dem internationalen Standard ISO 9001 rezertifiziert. |
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Im schweizerischen Kanton Neuchâtel, eingebettet in die wunderschöne Landschaft zwischen Biel und Genf, hat sich |
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Neben konventionellen Sputteranlagen zur Abscheidung von Hartstoffschichten, bietet Vacotec auch MoS2-Sputteranlagen die zur Verbesserung der Gleiteigenschaften von Bauteilen eingesetzt werden.
Folgende Merkmale weißt beispielsweise eine MoS2-Sputteranlage auf:
- Gleitschichtbeschichtung
- Drei Magnetron Sputterquellen
- DC-Magnetron Stromquellen
- Gepulste Bias Stromquelle
- Einzel ansteuerbare Gasflusswächter
- Hochvakuum-Pumpsystem, bestehend aus: Drehschieberpumpe, Wälzkolbenpumpe und Turbomolekularpumpe
- Kühlfalle
- Beschichtungen bei Temperaturen < 200°C
- Vergleichbare Prozessschritte einer Arc-PVD-Beschichtung (Abpumpen, Heizen, Ätzen / Reinigen, Beschichten, Abkühlen)
